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薄膜鉑熱電阻的優點，已成為鉑熱電阻元件的主體，其鮮明的優點體現如下：
① 體積細小目前最小尺寸的薄膜鉑熱電阻元件，其寬度為3μm，長度1.6mm，厚度為0.6mm;
② 響應時間快在τ0.5 的條件下，水流速V=0.2m/s 時僅為0.05s，空氣流速V=1m/s 時僅為4s;
③ 一致性好自動化的生產和檢測線，使元件具有良好的一致性;
④ 機械性能好抗震、抗振動等機械性能明顯優于繞絲類鉑熱電阻元件;
⑤ 精度高除常規的 B 級、A 級外，還可提供1/3B 級及1/10B 級精度的元件;
⑥ 測溫范圍寬從-196℃到1000℃的薄膜鉑熱電阻元件已經出現并投入應用，最高溫度達到1250℃的產品已在研發，不久將可面市;
⑦ 結構多樣化從傳統的帶引線結構，到無引線的SMD 產品以及適應于各種特殊領域的特殊結構的產品已經面市;
⑧ 長期穩定性好在元件的極限溫度工作超過1000 小時后，其電阻值的變化<0.02%;
⑨ 標稱阻值多從 Pt6.8 到Pt10k 的產品均已投入市場;
⑩價格便宜由于元件用鉑量大幅度減少并采用自動化生產，使得薄膜鉑熱電阻元件的價格逐步走低。